原子熒光剖析法是以原子在輻射能激發(fā)下發(fā)射的熒光強(qiáng)度進(jìn)行定量剖析的發(fā)射光譜剖析法。但所用儀器與原子吸收光譜法相近。原子熒光光譜剖析法具有很高的靈敏度，校正曲線(xiàn)的線(xiàn)性規(guī)模寬，能進(jìn)行多元素一起測(cè)定。原子熒光光譜是介于原子發(fā)射光譜和原子吸收光譜之間的光譜剖析技術(shù)。

其基本原理是經(jīng)過(guò)測(cè)量待測(cè)元素的原子蒸氣在必定波長(zhǎng)的輻射能激發(fā)下發(fā)射的熒光強(qiáng)度而進(jìn)行定量剖析。原子熒光的波長(zhǎng)在紫外、可見(jiàn)光區(qū)。氣態(tài)自由原子吸收特征波長(zhǎng)的輻射后，原子的外層電子從基態(tài)或低能態(tài)躍遷到高能態(tài)，約經(jīng)10-8秒，又躍遷至基態(tài)或低能態(tài)，一起發(fā)射出熒光。若原子熒光的波長(zhǎng)與吸收線(xiàn)波長(zhǎng)相同，稱(chēng)為共振熒光；若不同，則稱(chēng)為非共振熒光。共振熒光強(qiáng)度大，剖析中使用較多。在必定條件下，共振熒光強(qiáng)度與樣品中某元素濃度成正比，然后經(jīng)過(guò)測(cè)驗(yàn)共振熒光的強(qiáng)度來(lái)確定待測(cè)元素的含量。